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        • 商品名稱: C/C復合材料大型沉積爐
        • 商品編號: 0001

        C/C復合材料大型沉積爐

         用途:

         可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。

         

           特點

        采用先進的控制技術,能精密控制氣體的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍??;

        采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強; 

        采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

        對沉積產生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物能進行有效處理;

        采用防腐蝕真空機組,持續工作時間長,維修率低;

        化學氣相沉積爐主要配置

        結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

        爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

        爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼

        爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈

        加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

        工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產

        真空泵和真空計---進口/國產

        人機界面:觸摸屏/工控機

        電器元件:正泰/施耐德/西門子

         

         

        參數\型號

        XR-CJL-Φ11200

        XR-CJL-Φ15200

        XR-CJL-Φ26320

        XR-CJL-Φ33200

        容積(L)

        1900

        3534

        16989

        17105

        最高溫度(℃)

        1500

        1500

        1500

        1500

        工作區尺寸D×H(mm)

        Φ1100×2000

        Φ1500×2000

        Φ2600×3200

        Φ3300×2000

        控溫方式

        日本島電溫控儀

        加熱方式

        電阻加熱/感應加熱

        真空系統

        抗污泵

        燒結氣氛

        碳氫氣體等

        額定電源電壓(V)

        380

        額定加熱電壓(V)

        根據設計確定,配置爐前變壓器

        極限真空度(Pa)

        1-100(真空冷態)

         

         

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